[实用新型]一种厚度测量装置有效
| 申请号： | 201822042447.1 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN209013956U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 王雷;沈思情;姚钉丁;张俊宝;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201617 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种厚度测量装置。厚度测量装置包括载物台、控制模块、机械手和输出模块；载物台包括载物面，载物面用于承载待测样品；机械手位于载物台的载物面一侧，机械手与载物台的相对位置可调；控制模块与机械手以及输出模块均相连，用于调整机械手与载物台的相对位置，以对待测样品厚度进行测量，并将测量结果发送至输出模块。相较于现有技术中手工测量样品厚度的方法，本实用新型实施例提供的技术方案可以自动测量样品厚度，提高测量速度和测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 载物台 厚度测量装置 输出模块 载物面 本实用新型 控制模块 测量 待测样品 手工测量 位置可调 自动测量 承载 发送 | ||
【主权项】：
1.一种厚度测量装置，其特征在于，包括载物台、控制模块、机械手和输出模块；所述载物台包括载物面，所述载物面用于承载待测样品；所述机械手位于所述载物台的所述载物面一侧，所述机械手与所述载物台的相对位置可调；所述控制模块与所述机械手以及所述输出模块均相连，用于调整所述机械手与所述载物台的相对位置，以对待测样品厚度进行测量，并将测量结果发送至所述输出模块。
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