[实用新型]一种用于形成稀土金属靶材的制备装置

摘要

本实用新型属于磁性材料领域，具体为一种用于形成稀土金属靶材的制备装置。本实用新型中包括用于稀土金属粉末在其表面形成稀土金属靶材的靶向机构；用于固定靶向机构并带动靶向机构同步运动的旋转机构；用于向旋转装置提供动能的动力机构；用于在靶向机构表面形成稀土金属靶材时提供密封环境的密封机构。本实用新型解决了材料为稀土金属圆柱旋转靶材的制备问题，可满足不同直径和长度尺寸靶材要求，制备的靶材应用在稀土永磁材料生产领域，节省了原材料利用率，降低了生产成本。

主权项

1.一种用于形成稀土金属靶材的制备装置，其特征在于：包括靶向机构，用于稀土金属粉末在其表面形成稀土金属靶材；旋转机构，用于固定靶向机构并带动靶向机构同步运动；动力机构，用于向旋转装置提供动能；密封机构，用于在靶向机构表面形成稀土金属靶材时提供密封环境；在靶向机构两端分别设置有一旋转机构（2），所述密封机构为密闭空间，所述靶向机构位于密闭空间内，所述靶向机构一端通过其中一个旋转机构（2）安装在密闭空间内，另一端穿过密闭空间通过另一个旋转机构（2）与动力机构相连。