[实用新型]使用电子调谐谐振器产生高压射频信号的系统有效
| 申请号： | 201822045001.4 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN210245449U | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | M·肖索 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;H01J49/06 |
| 代理公司： | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人： | 封新琴 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种系统，用于产生驱动频率下的高压射频(RF)信号。该系统包括RF放大器以用于放大具有选定RF频率的驱动信号的电压。经放大的驱动信号用于驱动谐振器以产生RF信号，使得谐振频率与驱动频率相同或基本相同。谐振调谐控制器将驱动频率和谐振频率进行比较。如果谐振频率和驱动频率不同，则控制温度变化元件增加或减少向调谐部件辐射的热量，该调谐部件的谐振参数随温度变化。例如，热量可以改变调谐电容器的电容，从而导致该谐振器的谐振频率的改变。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 电子 调谐 谐振器 产生 高压 射频 信号 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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