[实用新型]一种具有多机械手的蒸镀装置

摘要

本实用新型涉及一种具有多机械手的蒸镀装置，包括周向设置的n(n≥2)个功能腔室和中心传递室，n个所述功能腔室围绕所述中心传递室连接成“簇”状，中心传递室内设有m(m≥2)个机械手、机械臂和机械传动器，机械传动器设置在机械臂的一端，用于带动机械臂沿水平向转动，机械手位于机械臂的另一端，用于摘取位于功能腔室内的基片或掩膜。本实用新型具有多机械手的蒸镀装置，通过在中心传递室内设计双机械手，每次可将基片及掩膜一起摘取，摘取后亦可进行基片和掩膜的自动压合，提高了工作效率，同时避免了在传递室内的传递污染。

主权项

1.一种具有多机械手的蒸镀装置，包括周向设置的n个功能腔室(1)和中心传递室(2)，n个所述功能腔室(1)围绕所述中心传递室(2)连接成“簇”状，其特征在于，所述中心传递室(2)内设有m个机械手(3)、机械臂(4)和机械传动器(5)，所述机械传动器(5)设置在所述机械臂(4)的一端，用于带动所述机械臂(4)沿水平向转动，所述机械手(3)位于所述机械臂(4)的另一端，用于摘取位于所述功能腔室(1)内的基片或掩膜；其中n≥2，m≥2，且m≤n。