[实用新型]一种半导体测试装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体测试装置，包括机体和样品台，所述机体上设置有起偏器、检偏器、支撑脚、传动螺母、轴孔与调节螺丝，所述起偏器通过螺丝安装固定于机体上方左侧，所述检偏器通过螺丝安装固定于机体上方右侧，所述支撑脚通过螺纹连接于机体底部边角上，所述传动螺母通过轴承过盈连接于机体前端顶部中间，所述轴孔开设于机体前端顶部，且轴孔分布于传动螺母两侧，所述调节螺丝通过螺纹连接于机体前端顶部，且调节螺丝分布于轴孔两侧，所述样品台放置于起偏器与检偏器之间。本实用新型可轻松对样品台的位置、角度进行调节，避免调节起偏器与检偏器，而浪费测试时间。

主权项

1.一种半导体测试装置，包括机体（1）和样品台（2），其特征在于：所述机体（1）上设置有起偏器（3）、检偏器（4）、支撑脚（5）、传动螺母（6）、轴孔（7）与调节螺丝（8），所述起偏器（3）通过螺丝安装固定于机体（1）上方左侧，所述检偏器（4）通过螺丝安装固定于机体（1）上方右侧，所述支撑脚（5）通过螺纹连接于机体（1）底部边角上，所述传动螺母（6）通过轴承过盈连接于机体（1）前端顶部中间，所述轴孔（7）开设于机体（1）前端顶部，且轴孔（7）分布于传动螺母（6）两侧，所述调节螺丝（8）通过螺纹连接于机体（1）前端顶部，且调节螺丝（8）分布于轴孔（7）两侧，所述样品台（2）放置于起偏器（3）与检偏器（4）之间。