[实用新型]一种溅射靶材加工装置有效
| 申请号： | 201822056878.3 | 申请日： | 2018-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN209532325U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 卢建栋;张小伟;张扬 | 申请（专利权）人： | 东曹（上海）电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K3/06;B23K3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种溅射靶材加工装置，涉及靶材热处理技术领域，其包括基板以及围挡，围挡可拆卸安装于基板上并沿基板的边沿周向设置，围挡与基板形成一槽体，槽体的一内侧壁固定有第一卡块，槽体相对于第一卡块的内侧壁可拆卸安装有第二卡块，第一卡块和第二卡块夹持于靶材的两侧，围挡的顶部开设有与背板配合卡接的卡槽，且卡槽与槽体相通设置。本实用新型具有焊合率高、操作简单、安全系数高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 卡块 槽体 基板 围挡 本实用新型 可拆卸安装 加工装置 溅射靶材 内侧壁 靶材 热处理技术领域 安全系数 周向设置 背板 焊合 夹持 卡槽 卡接 相通 配合 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶材加工装置，其特征在于，包括基板(1)以及围挡(2)，围挡(2)可拆卸安装于基板(1)上并沿基板(1)的边沿周向设置，围挡(2)与基板(1)形成一槽体(13)，槽体(13)的一内侧壁固定有第一卡块(4)，槽体(13)相对于第一卡块(4)的内侧壁可拆卸安装有第二卡块(5)，第一卡块(4)和第二卡块(5)夹持于靶材(11)的两侧，围挡(2)的顶部开设有与背板(12)配合卡接的卡槽(3)，且卡槽(3)与槽体(13)相通设置。
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