[实用新型]一种溅射靶材加热平台有效
| 申请号： | 201822060654.X | 申请日： | 2018-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN209537611U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 卢建栋;张小伟;张扬 | 申请（专利权）人： | 东曹（上海）电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H05B3/40;H05B3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅射靶材加热平台，涉及加热平台，包括机架，机架上固定有多个加热块，加热块内插接连接有多个电热棒，多个加热块一侧抵接有多个用于加热溅射靶材的垫板，多个加热块沿垫板的长度方向设置，机架周侧固定有用于收集多余焊料的收集槽，机架于垫板的两端均固定有用于固定溅射板的固定组件。针对现有技术存在过多焊料融化后易滴落至车间内的问题，本实用新型通过在机架周侧设置收集槽，有效避免多余焊料滴落至车间内，确保车间内的卫生和清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 加热块 焊料 加热平台 溅射靶材 垫板 本实用新型 收集槽 车间 滴落 长度方向设置 固定组件 电热棒 溅射板 抵接 内插 加热 融化 清洁 卫生 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶材加热平台，包括机架（1），其特征在于，所述机架（1）上固定有多个加热块（2），所述加热块（2）内插接连接有多个电热棒（3），多个所述加热块（2）一侧抵接有多个用于加热溅射靶材的垫板（4），多个所述加热块（2）沿所述垫板（4）的长度方向设置，所述机架（1）周侧固定有用于收集多余焊料的收集槽（5），所述机架（1）于所述垫板（4）的两端均固定有用于固定溅射板的固定组件。
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