[实用新型]一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备

摘要

本实用新型公开了一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备，包括差分真空室、抽气机组、差分真空规、进气口真空规、四级杆质谱计、插板阀一、插板阀二、微调阀、角阀和真空管路，所述差分真空室底部通过插板阀一与抽气机组相连接，差分真空室侧面有两个接口法兰，其中一个所述接口法兰通过三通分别与差分真空规和四级杆质谱计连接；本实用新型的有益效果是：该设备可以实现a大量程，b移动式，c自动调节采样率，d气体成分分析多样性，该设备能够有效地分析内真空中的残余气体成分有助于分析气体成分的主要来源，从而采取针对性措施提高真空度；该设备具有良好的社会效益，适合推广使用。

主权项

1.一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备，其特征在于：包括差分真空室、抽气机组、差分真空规、进气口真空规、四级杆质谱计、插板阀一、插板阀二、微调阀、角阀和真空管路，所述差分真空室底部通过插板阀一与抽气机组相连接，差分真空室侧面有两个接口法兰，其中一个所述接口法兰通过三通分别与差分真空规和四级杆质谱计连接，另一个所述接口法兰通过三通分别与两条差分支路连接，两条所述差分支路通过一个三通和四通相连接,所述真空管路包括波纹管一和波纹管二；其中，插板阀二所在支路通过波纹管一连接；微调阀所在支路通过波纹管二连接，所述四通上还连接有进气口真空规。