[实用新型]一种氮化硅研磨装置有效
| 申请号： | 201822070041.4 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN209490908U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 杜建周;李运平;陈秋静;高巍;徐海鹏 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | B02C19/00 | 分类号： | B02C19/00;B02C23/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵丽娜 |
| 地址： | 224001 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种氮化硅研磨装置，属于研磨装置领域，其包括底座、移动体、第一驱动装置、研磨装置、盛装体和活动压板。移动体上设有导向件，移动体可移动地设置于底座。第一驱动装置用于驱动移动体竖向移动。研磨装置包括转轴、研磨轮和第二驱动装置，研磨轮设于转轴的底端，第二驱动装置用于驱动转轴转动。盛装体连接于底座，盛装体内部形成具有顶部开口的容纳空间，第一驱动装置驱动移动体竖向向下移动能够使研磨轮进入容纳空间。活动压板可移动地设置于导向件，活动压板与导向件间设有弹性件，第一驱动装置驱动移动体竖向向下移动能够使活动压板进入容纳空间并压紧氮化硅。这种氮化硅研磨装置可有效的提高了生产效率，保证研磨的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨装置 移动体 第一驱动装置 活动压板 氮化硅 容纳空间 导向件 研磨轮 底座 第二驱动装置 可移动地设置 向下移动 盛装体 驱动 竖向 转轴 本实用新型 顶部开口 驱动转轴 生产效率 竖向移动 研磨 弹性件 均匀性 体内部 底端 压紧 转动 盛装 保证 | ||
【主权项】：
1.一种氮化硅研磨装置，其特征在于，包括：底座；移动体，所述移动体上设有竖向布置的导向件，所述移动体可移动地设置于所述底座；第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述移动体相对所述底座竖向移动；研磨装置，所述研磨装置包括转轴、研磨轮和第二驱动装置，所述转轴竖向布置于所述移动体，研磨轮设于所述转轴的底端，所述第二驱动装置用于驱动所述转轴相对所述移动体转动；盛装体，所述盛装体连接于所述底座，所述盛装体内部形成具有顶部开口的容纳空间，所述容纳空间用于容纳氮化硅，所述第一驱动装置驱动所述移动体竖向向下移动能够使所述研磨轮进入所述容纳空间；及其活动压板，所述活动压板可移动地设置于所述导向件，所述活动压板能够沿所述导向件竖向移动，所述活动压板位于所述研磨轮的上方，所述活动压板与所述导向件间设有弹性件，所述第一驱动装置驱动所述移动体竖向向下移动能够使所述活动压板进入所述容纳空间并压紧所述氮化硅。
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