[实用新型]磁控装置及物理气相沉积设备有效
| 申请号： | 201822071932.1 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209243164U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 孙明亮;吴孝哲;林宗贤;吴龙江;熊建锋 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种磁控装置及物理气相沉积设备。所述磁控装置包括：传送组件，位于靶材上方，包括环形的传送带；所述传送带能够围绕穿过其中心且沿其宽度方向延伸的轴线传动；所述传送带在竖直方向上的投影完全覆盖所述靶材；磁控组件，固定于所述传送带表面，包括至少一个磁控结构，所述磁控结构包括沿第一方向排布的两个软磁铁以及夹设于两个所述软磁铁之间的多个永磁铁；所述软磁铁呈长条形，所述永磁铁的两个磁极与两个所述软磁铁一一接触连接，以在所述软磁铁中感应出均匀分布的磁场。本实用新型提高了靶材的利用率，降低了半导体制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 软磁铁 传送带 磁控装置 靶材 物理气相沉积设备 本实用新型 永磁铁 磁控 半导体制造技术 宽度方向延伸 磁极 半导体制造 传送带表面 传送组件 磁控组件 接触连接 轴线传动 长条形 夹设 排布 竖直 磁场 投影 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种磁控装置，其特征在于，包括：传送组件，位于靶材上方，包括环形的传送带；所述传送带能够围绕穿过其中心且沿其宽度方向延伸的轴线传动；所述传送带在竖直方向上的投影完全覆盖所述靶材；磁控组件，固定于所述传送带表面，包括至少一个磁控结构，所述磁控结构包括沿第一方向排布的两个软磁铁以及夹设于两个所述软磁铁之间的多个永磁铁；所述软磁铁呈长条形，所述永磁铁的两个磁极与两个所述软磁铁一一接触连接，以在所述软磁铁中感应出均匀分布的磁场。
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