[实用新型]一种用于晶圆片卡塞的专用夹手

摘要

一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，包括用于与第一机械手连接的第一连接板，第一连接板内侧设置有两组并排设置的第一轴承座，每组第一轴承座之间均设置有第一丝杠组件，第一丝杠组件的丝杠螺母外设置有第一移动块，第一移动块的一侧固定有第一连接件，夹手还包括用于夹持卡塞的第一夹具，第一夹具包括左右对称的两个夹紧块，夹紧块通过第一连接件固定在第一移动块上。本实用新型设计了一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，采用与卡塞结构相匹配的专用夹具自动将卡塞稳定夹取后再转运，大大提高了转运效率，自动化程度高，与其他设备对接程度也高，为产品的全自动化生产做好了充分的技术准备。

主权项

1.一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，该卡塞包括左右对称的框架本体，所述框架本体内部的两侧均设置有若干均布的第一卡板，所述框架本体前方开口的两侧均设置有第一翻边，所述第一翻边垂直所述第一卡板设置，所述框架本体的上端面设置有两个“﹃”型件，所述“﹃”型件的外侧均设置有第二翻边，所述第二翻边平行所述第一卡板设置；其特征在于：所述夹手包括用于与第一机械手连接的第一连接板，所述第一连接板内侧设置有两组并排设置的第一轴承座，所述每组第一轴承座之间均设置有第一丝杠组件，所述第一丝杠组件的丝杠螺母外设置有第一移动块，所述第一移动块的一侧固定有第一连接件，所述夹手还包括用于夹持所述卡塞的第一夹具，所述第一夹具包括左右对称的两个夹紧块，所述夹紧块通过所述第一连接件固定在所述第一移动块上。