[实用新型]一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置有效
| 申请号： | 201822076589.X | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN209537632U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陈训海 | 申请（专利权）人： | 福建省顺昌富宝腾达化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/12 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 吴肖敏 |
| 地址： | 353200*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，包括箱体，所述储液瓶的出液端安装有导流管，所述导流管套接于导气管的内侧，所述导气管和导流管的端侧均安装有挡板，所述挡板的中部均匀等距开设有通孔，所述挡板的侧部安装有滑槽，所述滑槽的内部活接有滑块，所述滑块的上部安装有电动推杆，所述滑块的上部安装有卡块，所述电加热器安装于储液瓶的下部，所述箱体的下部安装有排液管，所述排液管的下部安装有收集箱，所述收集箱的侧部安装有喷嘴，所述收集箱的侧部安装有水泵。本实用新型简便的调节氢氟酸蒸汽喷入后与硅衬板的接触部位，达到有效的刻蚀，同时，有效的实现刻蚀后氢氟酸蒸汽的处理，避免影响环境。 | ||
| 搜索关键词： | 氢氟酸蒸汽 刻蚀 挡板 导流管 收集箱 滑块 本实用新型 储液瓶 导气管 硅装置 排液管 滑槽 等距开设 电动推杆 电加热器 接触部位 影响环境 喷嘴 出液端 硅衬板 活接 卡块 喷入 套接 通孔 水泵 | ||
【主权项】：
1.一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，包括箱体(1)、储液瓶(2)和电加热器(3)，其特征在于：所述箱体(1)的侧部安装有风机(4)，所述风机(4)的出气端通过导气管(5)贯穿箱体(1)的侧壁，所述储液瓶(2)的出液端安装有导流管(6)，所述导流管(6)套接于导气管(5)的内侧，所述导气管(5)和导流管(6)的端侧均安装有挡板(7)，所述挡板(7)的中部均匀等距开设有通孔(8)，所述挡板(7)的侧部安装有滑槽(9)，所述滑槽(9)的内部活接有滑块(10)，所述滑块(10)的上部安装有电动推杆(11)，所述滑块(10)的中部开有通槽(12)，所述滑块(10)的上部安装有卡块(13)，所述电加热器(3)安装于储液瓶(2)的下部，所述箱体(1)的下部安装有排液管(14)，所述排液管(14)的下部安装有收集箱(15)，所述收集箱(15)的侧部安装有喷嘴(16)，所述收集箱(15)的侧部安装有水泵(17)，所述水泵(17)的出水端与喷嘴(16)连通。
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