[实用新型]一种紫外激光的微加工装置有效
| 申请号： | 201822085756.7 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209491443U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 代雨成;黄海庆;刘亮;杨柯;曹洪涛;吕启涛;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及激光加工领域，具体涉及一种紫外激光的微加工装置，所述紫外激光的微加工装置包括紫外激光器、至少一个用于降低激光功率的衰减镜片、扩束镜以及聚焦组件，其中，紫外激光器产生激光后传输至衰减镜片，通过衰减镜片降低功率后传输至扩束镜，再通过调节扩束镜的倍数改变光斑大小后传输至聚焦组件，最后通过聚焦组件进行聚焦后输出；本实用新型通过设计一种紫外激光微加工装置，实现了熔点小、体积小、加工要求精细的产品的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 微加工装置 紫外激光 聚焦组件 扩束镜 镜片 衰减 本实用新型 紫外激光器 传输 熔点 激光功率 激光加工 降低功率 光斑 体积小 加工 激光 聚焦 精细 输出 | ||
【主权项】：
1.一种紫外激光的微加工装置，所述微加工装置包括紫外激光器，其特征在于：所述微加工装置还包括至少一个用于降低激光功率的衰减镜片、扩束镜以及聚焦组件，其中，紫外激光器产生激光后传输至衰减镜片，通过衰减镜片降低功率后传输至扩束镜，再通过调节扩束镜的倍数改变光斑大小后传输至聚焦组件，最后通过聚焦组件进行聚焦后输出。
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