[实用新型]光学位置检测装置有效
| 申请号： | 201822088095.3 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN209230522U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 胡进;陈铭勇 | 申请（专利权）人： | 苏州亿拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B9/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光学位置检测装置，该装置包括：检测光源以及沿检测光源的成像光路依次设置的光阑、投影镜组、成像放大镜组和探测器，其中，检测光源为点光源或线光源；投影镜组，将来自光阑的光束以一定倾角入射在工件的待测表面；成像放大镜组，可将待测表面的反射光束进行2级放大成像后入射至探测器。本实用新型的检测装置，采用独立的成像光路，边缘轮廓更清晰，检测精度更高，同时可采用不同角度的斜入射方式，可以避开其它光路占据的空间位置，而且装置简单可靠，成本低廉，可以将工件表面的位置变化放大30～160倍，可以实现亚微米级的位置检测。 | ||
| 搜索关键词： | 光学位置检测装置 成像光路 放大镜组 检测光源 投影镜组 探测器 光阑 入射 成像 本实用新型 边缘轮廓 反射光束 放大成像 工件表面 检测装置 空间位置 位置变化 位置检测 亚微米级 依次设置 点光源 线光源 斜入射 沿检测 光路 光源 避开 放大 占据 检测 清晰 申请 | ||
【主权项】：
1.一种光学位置检测装置，其特征在于，包括检测光源以及沿检测光源的成像光路依次设置的光阑、投影镜组、成像放大镜组和探测器，其中，检测光源为点光源或线光源；投影镜组，将来自光阑的光束以一定倾角入射在工件的待测表面；成像放大镜组，可将待测表面的反射光束进行放大成像后入射至探测器。
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