[实用新型]一种氟化镱用沉积真空炉有效
| 申请号： | 201822096962.8 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN209910404U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 王琦;王海军;王阜平 | 申请（专利权）人： | 南京明瑞光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/06 | 分类号： | F27D7/06;C23C14/56;C23C14/06 |
| 代理公司： | 32330 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市雨花区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氟化镱用沉积真空炉，涉及真空炉技术领域。本实用新型包括炉体、真空罐和真空泵，还包括除尘弯管，除尘弯管的一端连通炉体的内部，另一端连通真空罐，除尘弯管沿其长度呈“W”形折弯，除尘弯管“W”形的波谷处的外壁上螺纹连接有除尘筒，除尘弯管的波峰处的内部管道壁上转动连接有挡板。本实用新型通过设置气体节流电磁阀、“W”形除尘弯管和除尘筒，通过除尘筒进行灰尘和湿气的吸附，在突发事件发生，例如需要对除尘筒进行清理更换时，通过关闭气体节流电磁阀，再将除尘筒螺纹旋拧下来进行清理，解决了现在灰尘容易污染腐蚀设备的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 除尘 弯管 除尘筒 本实用新型 气体节流 电磁阀 真空罐 真空炉 湿气 腐蚀设备 连通炉体 内部管道 突发事件 转动连接 挡板 波谷处 氟化镱 上螺纹 真空泵 波峰 螺纹 沉积 炉体 外壁 吸附 旋拧 折弯 连通 污染 | ||
【主权项】：
1.一种氟化镱用沉积真空炉，包括炉体(1)、真空罐(2)和真空泵(3)，其特征在于，还包括除尘弯管(4)，所述除尘弯管(4)的一端连通炉体(1)的内部，另一端连通真空罐(2)；/n所述除尘弯管(4)沿其长度呈“W”形折弯，除尘弯管(4)“W”形的波谷处的外壁上螺纹连接有除尘筒(7)，除尘筒(7)的一端螺纹连接在除尘弯管(4)内部通道的壁内，另一端处于除尘弯管(4)的外部，且其端头出固定安装有把手(71)，除尘筒(7)的中部填充有吸尘层(72)；/n所述除尘弯管(4)的波峰处的内部管道壁上转动连接有挡板(8)，挡板(8)的一端设有轴杆(81)和扭转弹簧(82)，扭转弹簧(82)套设在轴杆(81)上，轴杆(81)的两端安装在除尘弯管(4)的壁内，挡板(8)固定安装在扭转弹簧(82)的一端头，扭转弹簧(82)的另一端头固定连接在除尘弯管(4)的壁上；/n所述除尘弯管(4)波峰处的内部管道的上壁设有与挡板(8)配合使用的凹槽(83)，凹槽(83)靠近炉体(1)的一端壁为与板面配合的竖直结构，挡板(8)通过扭转弹簧(82)紧密贴合在凹槽(83)竖直结构的壁上。/n
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