[实用新型]一种真空室内传输机构定位装置有效
| 申请号： | 201822106101.3 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN209456560U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空室内传输机构定位装置，包括传输机构、传输机构驱动马达、PLC，PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置，在定位位置处的真空室箱体上设有通孔，气缸通过密封座固定在通孔处，在靠近真空侧一端密封座内部安装有导向套，气缸的活塞杆沿导向套移动，在活塞杆末端安装有活动定位块，活动定位块上设有倒V型凸起，传输机构上安装有固定定位块，固定定位块上设有与倒V型凸起匹配的倒V型定位槽，PLC控制气缸动作。本实用新型的定位装置通过在定位位置处的真空室箱体上设置气缸，由设置在气缸上的活动定位块与设置在传输机构上的固定定位块配合来保证每一次的精准定位。 | ||
| 搜索关键词： | 传输机构 气缸 固定定位块 活动定位块 定位装置 倒V型 本实用新型 定位位置 室内传输 导向套 真空室 通孔 凸起 活塞杆末端 机构驱动 精准定位 控制传输 内部安装 气缸动作 驱动马达 一端密封 定位槽 活塞杆 密封座 马达 匹配 移动 配合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种真空室内传输机构定位装置，包括传输机构、传输机构驱动马达、PLC，PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置，其特征在于：在定位位置处的真空室箱体上设有通孔，气缸通过密封座固定在通孔处，在靠近真空侧一端密封座内部安装有导向套，气缸的活塞杆沿导向套移动，在活塞杆末端安装有活动定位块，活动定位块上设有倒V型凸起，传输机构上安装有固定定位块，固定定位块上设有与倒V型凸起匹配的倒V型定位槽，PLC控制气缸动作。
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