[实用新型]一种应用于高温化学气相沉积炉上的绝缘密封结构

摘要

本实用新型公开一种应用于高温化学气相沉积炉上的绝缘密封结构，中频感应化学气相沉积炉是制备碳/碳复合材料的常用设备。重要部位的绝缘和气密性是设备运行的前提，感应线圈外部接口处的密封和绝缘是设备安全运转的关键。本实用新型通过采用环氧玻璃纤维绝缘连接件、环氧玻纤板等绝缘材质交替使用来保证良好的绝缘性，通过长短四氟管交替使用，中间还夹有耐高温橡胶垫圈，相互之间用耐高温硅酮密封胶来连接，最后用铜制螺母压实压紧来保证良好的密封性。

主权项

1.一种应用于高温化学气相沉积炉上的绝缘密封结构，所述沉积炉内，感应线圈设置在若干圆柱上，其特征在于：所述感应线圈表面包覆有若干层耐高温石英绝缘布，层与层之间涂覆有耐高温绝缘漆，所述若干层耐高温石英绝缘布的整体外表面依次涂覆耐高温绝缘漆和环氧树脂；所述感应线圈伸出炉体的部分为与外部电源连接的接口，一绝缘环氧玻璃纤维连接件套入该接口处，所述绝缘环氧玻璃纤维连接件与所述接口之间留有间隙，两根长聚四氟乙烯管插入所述间隙，且所述间隙通过高粘性耐高温硅酮密封胶密封，所述两根长聚四氟乙烯管上分别套入一耐高温橡胶垫圈后再整体套入铜制螺母、绝缘环氧玻璃纤维盖板后与所述沉积炉炉体法兰板连接。