[实用新型]一种曝光显影机有效
| 申请号： | 201822109917.1 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN209311855U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张宇;张岩;江克明;刘均林;朱方德;陈宇凡 | 申请（专利权）人： | 广州金鹏源康精密电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 高淑怡;赖秀芳 |
| 地址： | 510700 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光显影机，曝光装置包括传送装置以及真空曝光室，传送装置安装在曝光室内，曝光室内设有用于曝光的LED灯，LED灯安装在传送装置的两侧。显影装置与曝光装置相连接，显影装置包括装有有机溶液的显影单元，在显影单元的一端设有第一感应装置，另一端装有第二感应装置。通过在显影装置进出口上设置感应装置，操作人员可以知晓板件何时传出显影装置，操作方便，能够提高生产效率。同时在真空曝光室内安装有LED灯，显影单元内设有有机显影溶液，能够保证曝光能量的稳定性和均匀性，并且显影出平直、成像清洗的线路，能提高产品的生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 显影装置 曝光 传送装置 感应装置 显影单元 曝光装置 显影机 室内 本实用新型 曝光能量 生产效率 室内安装 显影溶液 有机溶液 均匀性 曝光室 板件 平直 显影 成像 清洗 进出口 保证 生产 | ||
【主权项】：
1.一种曝光显影机，包括曝光装置以及显影装置，其特征在于：所述曝光装置包括传送装置以及真空曝光室，所述传送装置安装在所述真空曝光室内，用于将待加工的板件从所述曝光装置输送至所述显影装置内，所述真空曝光室内设有用于曝光的LED灯，所述LED灯安装在所述传送装置的两侧，所述真空曝光室内还设有用于冷却所述LED灯的排气机；所述显影装置与所述曝光装置相连接，所述显影装置包括装有有机溶液的显影单元，在所述显影单元的一端设有第一感应装置，在显影单元的另一端装有第二感应装置。
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