[实用新型]一种供气装置有效
申请号: | 201822112431.3 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN209213472U | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 常军 | 申请(专利权)人: | 上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
主分类号: | F17D3/01 | 分类号: | F17D3/01;F17D1/02 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201613 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及气体输送技术领域,公开一种供气装置。其中供气装置包括控制总路、多条控制支路和总控机械手阀,所述控制总路包括气源和电控制阀组件,所述气源与所述电控制阀组件连接;各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀、梭阀和气动控制阀,所述电控制阀组件与各所述控制支路的所述机械手阀相连,所述气源还与各所述控制支路上的所述机械手阀相连;所述总控机械手阀的输入口与所述气源相连,输出口与各所述控制支路上的所述梭阀相连。本实用新型的供气装置既能够使用电控制阀组件控制气源驱动气动控制阀打开,又能在断电或宕机时,手动开启机械手阀或总控机械手阀,气源通过各控制支路驱动气动控制阀打开,从而实现不间断供气。 | ||
搜索关键词: | 机械手 气源 电控制阀 供气装置 控制支路 气动控制阀 本实用新型 梭阀 总路 气体输送 气源驱动 手动开启 依次串联 组件控制 组件连接 输出口 输入口 断电 供气 驱动 | ||
【主权项】:
1.一种供气装置,其特征在于,包括:控制总路,所述控制总路包括气源(1)和电控制阀组件(2),所述气源(1)与所述电控制阀组件(2)连接;多条控制支路,各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀(3)、梭阀(4)和气动控制阀(5),所述电控制阀组件(2)与各所述控制支路的所述机械手阀(3)相连,所述气源(1)还与各所述控制支路上的所述机械手阀(3)相连;还包括总控机械手阀(6),所述总控机械手阀(6)的输入口与所述气源(1)相连,输出口与各所述控制支路上的所述梭阀(4)相连。
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