[实用新型]一种台板表面污物检测与在线清洗的机构

摘要

本实用新型涉及一种台板表面污物检测与在线清洗的机构。该机构包括检测专用激光器、清洗专用激光器、反射镜偏转系统、聚焦透镜移动系统、检测信号接收系统、中控台、工作台，反射镜偏转系统利用蜗杆旋转带动涡轮偏转实现不同入射角的激光扫描台板表面，对应的反射激光被检测信号接收系统接收，获得污物的特征信息，聚焦透镜移动系统利用音圈电机控制聚焦透镜上下移动，实现不同聚焦光斑条件下的特定污物激光清洗，本实用新型融合了激光的检测作用与热熔作用，能满足大尺度台板表面污物的检测与在线精准清洗，避免台板表面烧伤，提高了台板表面污物清洗的可靠性。

主权项

1.一种台板表面污物检测与在线清洗的机构，其特征在于：包括检测专用激光器(10)、清洗专用激光器(21)、反射镜偏转系统(33)、聚焦透镜移动系统(34)、检测信号接收系统(32)、中控台(1)、工作台(31)、底座(36)、左立柱(2)、右立柱(26)、左支座(3)、右支座(29)、升降座(23)、光路腔(35)、台板工件(30)，所述左立柱(2)和右立柱(26)下端通过螺钉连接固定在底座(36)上，所述检测专用激光器(10)和清洗专用激光器(21)分别固定在左立柱(2)和右立柱(26)上端，所述光路腔(35)横跨置于左立柱(2)和右立柱(26)上端，所述反射镜偏转系统(33)通过左支座(3)固定在左立柱(2)上，所述聚焦透镜移动系统(34)通过升降座(23)固定在右立柱(26)上，所述检测信号接收系统(32)通过右支座(29)固定在右立柱(26)上，所述台板工件(30)固定在工作台(31)上，所述中控台(1)置于底座(36)上。