[实用新型]一种喷淋单元及硅片清洗系统有效
| 申请号： | 201822116759.2 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN209792083U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 朱延松;陆建虎;张开增;王少忠;杜立宁 | 申请（专利权）人： | 楚雄隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/14 |
| 代理公司： | 11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 651200 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种喷淋单元及硅片清洗系统，该喷淋单元包括储水槽、回用水槽、第一喷淋槽和第二喷淋槽，储水槽与所述第二喷淋槽通过第一供水管路相连，第二喷淋槽的排液口通过回水管路连通至所述回用水槽，回用水槽通过第二供水管路与所述第一喷淋槽连通；该硅片清洗系统包括脱胶单元、漂洗单元和上述的喷淋单元。对硅片清洗时，可以将第二喷淋槽清洗完之后的水回用至第一喷淋槽进行预清洗，一方面达到节约用水的目的，另一方面减少污水处理所需的化学品和电力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋槽 回用水槽 喷淋 硅片清洗系统 供水管路 储水槽 连通 电力成本 硅片清洗 回水管路 节约用水 化学品 排液口 预清洗 漂洗 回用 脱胶 清洗 污水处理 申请 | ||
【主权项】：
1.一种喷淋单元，其特征在于：包括储水槽、回用水槽、第一喷淋槽和第二喷淋槽，所述储水槽与所述第二喷淋槽通过第一供水管路相连，所述第二喷淋槽的排液口通过回水管路连通至所述回用水槽，所述回用水槽通过第二供水管路与所述第一喷淋槽连通。/n
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