[实用新型]一种紫外阴极射线光源系统有效
申请号: | 201822123391.2 | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN209312705U | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
发明(设计)人: | 李成明;王琦;王新强;张国义 | 申请(专利权)人: | 北京大学东莞光电研究院 |
主分类号: | H01J29/58 | 分类号: | H01J29/58;H01J29/56 |
代理公司: | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人: | 邓燕 |
地址: | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种紫外阴极射线光源系统,包括阴极射线发射装置、电子聚焦加速装置、第一反光杯、发光薄膜材料、光束整型器件、聚焦透镜和第二反光杯,光束整型器件设于第一反光杯内,发光薄膜材料同时位于第一反光杯焦点位置处和光束整型器件焦点位置处,聚焦透镜位于第一反光杯出口处、且聚焦透镜的聚焦点位于第二反光杯焦点位置处,阴极射线发射装置发出的电子束源经过电子聚焦加速装置加速、并注入发光薄膜材料,从发光薄膜材料发出的光经过第一反光杯反射和光束整型器件后形成平行光束出射光,该平行光束出射光经过聚焦透镜聚焦、并经过第二反光杯反射后形成相应尺寸的平行光束,大大提高了紫外光源的质量,可应用范围更广。 | ||
搜索关键词: | 反光杯 阴极射线 发光薄膜 聚焦透镜 整型 平行光束 发射装置 反光杯焦点 电子聚焦 光源系统 加速装置 出射光 位置处 反射 聚焦 电子束源 焦点位置 紫外光源 点位 应用 | ||
【主权项】:
1.一种紫外阴极射线光源系统,其特征在于,包括阴极射线发射装置、电子聚焦加速装置、第一反光杯、发光薄膜材料、光束整型器件、聚焦透镜和第二反光杯,光束整型器件设于第一反光杯内,发光薄膜材料同时位于第一反光杯焦点位置处和光束整型器件焦点位置处,聚焦透镜位于第一反光杯出口处、且聚焦透镜的聚焦点位于第二反光杯焦点位置处,阴极射线发射装置发出的电子束源经过电子聚焦加速装置加速、并注入发光薄膜材料,从发光薄膜材料发出的光经过第一反光杯反射和光束整型器件后形成平行光束出射光,该平行光束出射光经过聚焦透镜聚焦、并经过第二反光杯反射后形成相应尺寸的平行光束。
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