[实用新型]MEMS芯片和MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201822123932.1 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN209419845U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 于永革 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS芯片和MEMS麦克风，其中，MEMS芯片包括基底及由振膜和背极构成的平行板电容，基底与平行板电容围合形成一开口的声腔，基底的外侧壁上设有挡胶部。本实用新型MEMS芯片通过在基底的外侧壁上设置挡胶部，则在不影响MEMS芯片的整体结构的情况下，增大胶水的爬升路径及爬升难度，从而能够减缓甚至阻止胶水爬升至MEMS芯片的表面，保证MEMS芯片的正常工作，且在基底上设置挡胶部能够使用更软的MEMS粘片胶或增加较厚以减弱一部分外力，从而减小外力对MEMS芯片的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 爬升 本实用新型 平行板电容 胶水 外侧壁 粘片胶 声腔 背极 减小 围合 振膜 开口 保证 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS芯片，其特征在于，包括：平行板电容，由振膜和背极构成；基底，所述基底与所述平行板电容围合形成一开口的声腔，所述基底的外侧壁上设有挡胶部。
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