[实用新型]一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置有效
| 申请号： | 201822134307.7 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209428591U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 宋宇轩;潘州鑫;陈迦南;黄先伟;李相清;马毅 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310014 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置，包括试样台固定装置和圆棒试样夹持装置。试样台固定装置由固定板与螺钉等部件组成；圆棒试样夹持装置由电机与螺纹套筒等部件组成。本实用新型结构设计巧妙，使用方便，能够同时自动给多根圆棒试样镀膜。在磁控溅射仪内应用本装置同时给多根圆棒试样镀膜，操作简单，自动性高，稳定性强，膜的厚度也比较均匀，且与基体有着良好的结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 圆棒试样 夹持装置 镀膜 本实用新型 磁控溅射 固定装置 高通量 试样台 磁控溅射仪 螺纹套筒 稳定性强 螺钉 固定板 结合力 自动性 电机 应用 | ||
【主权项】：
1.一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置，其特征在于，包括试样台固定装置和圆棒试样夹持装置；所述圆棒试样夹持装置通过试样台固定装置固定连接在磁控溅射仪试样台（6）的下部；所述圆棒试样夹持装置包括第二电机（15）、第二传动杆（21）、第一传动轮（22）和第二传动轮（30）；所述第二传动杆的一端与第二电机（15）的输出轴固定连接；所述第二传动杆上设有第一传动轮（22）和第二传动轮（30）；所述第一传动轮（22）与第二传动轮（30）之间至少设有两个旋转夹持组件。
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