[实用新型]一种高温测压压头装置有效
申请号: | 201822142138.1 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN209513457U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 冯雨周;鲍军其;胡冲 | 申请(专利权)人: | 杭州长川科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N3/18 | 分类号: | G01N3/18 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 310000 浙江省杭州市滨江区江淑*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种高温测压压头装置,包括:基板,两个至六个测压装置;测压装置包括:与基板下端连接的测压座,设于测压座上端且与测压座两端贯通的容置槽,设于容置槽底面且与测压座下端贯通的通孔,穿设于通孔中且与通孔适配的压头,设于容置槽中且与压头上端连接的升降块,设于升降块中的加热器和温度传感器,设于升降块上端和基板下端之间的压簧组。所述的高温测压压头装置测压稳定性较好适用于集成电路高温测压,测压效率较高且成本较低。 | ||
搜索关键词: | 测压 头装置 基板 通孔 下端 升降 测压装置 容置槽 上端 贯通 本实用新型 容置槽底面 温度传感器 加热器 压簧组 穿设 适配 压头 集成电路 | ||
【主权项】:
1.一种高温测压压头装置,包括:基板,其特征是,所述的高温测压压头装置还包括:两个至六个测压装置;测压装置包括:与基板下端连接的测压座,设于测压座上端且与测压座两端贯通的容置槽,设于容置槽底面且与测压座下端贯通的通孔,穿设于通孔中且与通孔适配的压头,设于容置槽中且与压头上端连接的升降块,设于升降块中的加热器和温度传感器,设于升降块上端和基板下端之间的压簧组。
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