[实用新型]化学气相沉积用隔离室

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积用隔离室，设置在第一沉积室和第二沉积室之间，其包括中空结构的隔离腔体及辊轴组件，中空结构形成抽气腔述隔离腔体延伸出与第一、二沉积室密封对接的第一、二通道，第一通道与第二通道正对设置，第一通道、抽气腔及第二通道依次连通，隔离腔体上贯穿开设有用于与外界抽气装置连通的抽气口，辊轴组件设置于抽气腔内，辊轴组件包括呈上下相切设置的从动辊轴和主动辊轴，主动辊轴和从动辊轴外均具有呈柔性结构的硅胶层；本实用新型借由第一通道、隔离腔体、第二通道及辊轴组件有效的将第一沉积室和第二沉积室隔离开，并有效的阻挡了第一沉积室和第二沉积室之间气体相互渗透和扩散。

主权项

1.一种化学气相沉积用隔离室，适用于设置在第一沉积室和第二沉积室之间，其特征在于，所述化学气相沉积用隔离室包括呈中空结构的隔离腔体及辊轴组件，所述中空结构形成抽气腔，所述隔离腔体一侧延伸出与所述第一沉积室密封对接的第一通道，所述隔离腔体的另一侧延伸出与所述第二沉积室密封对接的第二通道，所述第一通道与所述第二通道正对设置，所述第一通道、抽气腔及第二通道依次连通，所述隔离腔体上贯穿开设有用于与外界抽气装置连通的抽气口，所述辊轴组件设置于所述抽气腔内，所述辊轴组件包括呈上下相切设置的从动辊轴和主动辊轴，所述主动辊轴连接一驱动其转动的辊轴驱动机构，所述主动辊轴和所述从动辊轴外均具有呈柔性结构的硅胶层，所述主动辊轴与所述从动辊轴相切处正对所述第一通道和所述第二通道。