[实用新型]等离子体增强化学气相沉积用多通道电极装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子体增强化学气相沉积用多通道电极装置，其包括气盒机构及电极机构，气盒机构包括呈中空结构的气盒体，中空结构被第一隔板分隔形成各自相互独立的气腔单元，气盒体的顶面贯穿开设有与气腔单元连通的进气口，每一气腔单元所对应的气盒体的底面上均设置有导电结构的第二隔板，相邻两第二隔板之间的气盒体的贯穿开设有与气腔单元连通的出气口，相邻两第二隔板之间形成电离腔单元，依次连通的进气口、气腔单元、出气口及电离腔单元形成一沉积通道，电极机构的电极条对应悬置于电离腔单元中；由上可知，本实用新型借由所提供的多条沉积通道可同时进行不同气体的电离，进而实现对基板同时进行多层沉积的目的。

主权项

1.一种等离子体增强化学气相沉积用多通道电极装置，其特征在于，包括气盒机构及电极机构，所述气盒机构包括呈中空结构的气盒体，所述中空结构形成气腔，所述气盒体呈矩形结构，所述气腔中呈平行的等间距设置有第一隔板，所述第一隔板将所述气腔分隔形成各自相互独立的气腔单元，所述气腔单元所对应的气盒体的顶面贯穿开设有与所述气腔单元连通的进气口，每一所述气腔单元所对应的气盒体的底面上均呈平行的等间距设置有导电结构的第二隔板，相邻两所述第二隔板之间的气盒体的底面贯穿开设有与所述气腔单元连通的呈条状的出气口，相邻两所述第二隔板之间形成电离腔单元，所述气腔单元与所述电离腔单元呈一一正对设置，依次连通的所述进气口、所述气腔单元、所述出气口及所述电离腔单元形成一沉积通道，所述电极机构包括承载体，所述承载体上呈平行且等间距的延伸出与所述电离腔单元对应的电极条，所述电极条对应悬置于所述电离腔单元中。