[实用新型]自动化多道制绒清洗下料机有效
| 申请号： | 201822143507.9 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209298086U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 李长英;江玉新 | 申请（专利权）人： | 江阴方艾机器人有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 214443 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种自动化多道制绒清洗下料机，传输带组件(2)平行设置有多组，每组传输带组件(2)包含有两条相互平行的传输带(2.1)，相邻传输带组件(2)之间、以及相邻传输带(2.1)之间均设置有升降组件(3)，所述升降组件(3)的顶部设置有传输滚轮，且传输滚轮驱动硅片前行的方向与传输带(2.1)的传输方向相垂直；所述传输带组件(2)的两侧均设置有装片输送带(4)，且装片输送带(4)的传输方向与传输带(2.1)的传输方向相垂直；上述花篮(6)和花篮升降机构(5)均设置有两组，两组花篮(6)分别朝向两条装片输送带(4)。本实用新型一种自动化多道制绒清洗下料机，生产效率高且能够实现无间断持续化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 传输带 输送带 传输带组件 传输方向 制绒清洗 下料机 装片 本实用新型 传输滚轮 升降组件 自动化 两组 花篮 垂直 花篮升降机构 顶部设置 平行设置 生产效率 带组件 无间断 组传输 硅片 前行 平行 驱动 生产 | ||
【主权项】：
1.一种自动化多道制绒清洗下料机，所述自动化多道制绒清洗下料机包含有机架(1)，所述机架(1)上设置有传输带组件(2)，竖向设置的花篮(6)设置于花篮升降机构(5)上；其特征在于：所述传输带组件(2)平行设置有多组，每组传输带组件(2)包含有两条相互平行的传输带(2.1)，相邻传输带组件(2)之间、以及相邻传输带(2.1)之间均设置有升降组件(3)，所述升降组件(3)的顶部设置有传输滚轮，且传输滚轮驱动硅片前行的方向与传输带(2.1)的传输方向相垂直；所述传输带组件(2)的两侧均设置有装片输送带(4)，且装片输送带(4)的传输方向与传输带(2.1)的传输方向相垂直，且装片输送带(4)位于升降组件(3)旁；上述花篮(6)和花篮升降机构(5)均设置有两组，两组花篮(6)分别朝向两条装片输送带(4)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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