[实用新型]紧凑型刻蚀上料机有效

申请号：	201822143510.0	申请日：	2018-12-19
公开（公告）号：	CN209544296U	公开（公告）日：	2019-10-25
发明（设计）人：	李长英;江玉新	申请（专利权）人：	江阴方艾机器人有限公司
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677;H01L21/67
代理公司：	北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638	代理人：	王新爱
地址：	214443 江苏省无锡市***	国省代码：	江苏;32
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摘要：	本实用新型一种紧凑型刻蚀上料机，伸缩皮带组件(6)包含有支撑台架(6.1)，所述支撑台架(6.1)的顶部两侧平行设置有支撑轨道(6.1.1)，两根支撑轨道(6.1.1)的端部之间滑动设置有伸缩板(6.2)，一安装于支撑台架(6.1)上的伸缩气缸(6.2.1)的活塞杆与伸缩板(6.2)相连接，所述支撑轨道(6.1.1)的两端分别设置有带轮一(6.4)和带轮二(6.5)，所述伸缩板(6.2)的底部设置有一滑轮(6.3)，所述支撑台架(6.1)上固定有一转向轮(6.6)，皮带(6.7)缠绕在带轮一(6.4)、带轮二(6.5)、滑轮(6.3)和转向轮(6.6)之间。本实用新型一种紧凑型刻蚀上料机，结构设计巧妙且无需停工即可对皮带组长度进行调整。
搜索关键词：	支撑台架带轮支撑轨道上料机伸缩板刻蚀本实用新型转向轮滑轮滑动设置平行设置伸缩皮带伸缩气缸活塞杆皮带组皮带缠绕停工
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【主权项】：

1.一种紧凑型刻蚀上料机，所述上料机包含有机架(1)，所述机架(1)上设置有传输带，其特征在于：所述传输带旁设置有伸缩皮带组件(6)，所述伸缩皮带组件(6)包含有支撑台架(6.1)，所述支撑台架(6.1)的顶部两侧平行设置有支撑轨道(6.1.1)，两根支撑轨道(6.1.1)的端部之间滑动设置有伸缩板(6.2)，一安装于支撑台架(6.1)上的伸缩气缸(6.2.1)的活塞杆与伸缩板(6.2)相连接，且伸缩气缸(6.2.1)的活塞杆的伸缩方向与伸缩板(6.2)沿支撑轨道(6.1.1)滑动的方向相一致；所述支撑轨道(6.1.1)的两端分别设置有带轮一(6.4)和带轮二(6.5)，所述伸缩板(6.2)的底部设置有一滑轮(6.3)，所述支撑台架(6.1)上固定有一转向轮(6.6)，皮带(6.7)缠绕在带轮一(6.4)、带轮二(6.5)、滑轮(6.3)和转向轮(6.6)之间。

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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