[实用新型]光伏扩散自动化上下料机有效
| 申请号： | 201822143634.9 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209298088U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 李长英;江玉新 | 申请（专利权）人： | 江阴方艾机器人有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 214443 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型一种光伏扩散自动化上下料机，工作台板(1)的上方设置有行走于轨道上的升降板(6)，所述升降板(6)的底板上均匀排布有多个吸盘(8)；所述工作台板(1)上左右对称设置有两块L形垫块(2)，且位于外侧的L形垫块(2)的高度大于位于内侧的L形垫块(2)的高度，石英舟(3)的两端分别搁置在两块L形垫块(2)的L形豁口上，一竖向设置的安装板(4)位于一L形垫块(2)旁，且安装板(4)的顶部设置有激光测距仪(5)，该激光测距仪(5)正对升降板(6)上的吸盘(8)。本实用新型一种光伏扩散自动化上下料机，结构简单、使用方便、操作精度高、吸附力强且不会损伤硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 上下料机 升降板 光伏 吸盘 本实用新型 激光测距仪 工作台板 自动化 安装板 扩散 左右对称设置 底板 顶部设置 均匀排布 竖向设置 石英舟 吸附力 硅片 正对 搁置 损伤 轨道 | ||
【主权项】：
1.一种光伏扩散自动化上下料机，所述光伏扩散自动化上下料机包含有工作台板(1)，所述工作台板(1)的上方设置有行走于轨道上的升降板(6)，所述升降板(6)的底板上均匀排布有多个吸盘(8)；其特征在于：所述工作台板(1)上左右对称设置有两块L形垫块(2)，且位于外侧的L形垫块(2)的高度大于位于内侧的L形垫块(2)的高度，石英舟(3)的两端分别搁置在两块L形垫块(2)的L形豁口上，一竖向设置的安装板(4)位于一L形垫块(2)旁，且安装板(4)的顶部设置有激光测距仪(5)，该激光测距仪(5)正对升降板(6)上的吸盘(8)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴方艾机器人有限公司，未经江阴方艾机器人有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822143634.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高可靠型刻蚀上料机
- 下一篇：用于LED支架网印灌胶设备的上料装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
