[实用新型]照明装置及光学检测装置有效
| 申请号： | 201822147083.3 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN209147927U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 杨晓青 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01D5/26;G01D11/28 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种照明装置及光学检测装置，由光源发出的光束经过偏振分束器后分离成两路偏振光，第一路偏振光沿着第一偏振光路经过第一照明模式调制单元后入射至偏振合束器，第二路偏振光沿着第二偏振光路经过第二照明模式调制单元后入射至偏振合束器，两路偏振光经合束后入射至第三照明模式调制单元中，第一照明模式调制单元、第二照明模式调制单元及第三照明模式调制单元均通过旋转以切换照明模式。本实用新型能够提高对光源能量的利用率，实现更多的照明模式，并保持照明光路空间和角度分布的一致性，以提高光学检测装置的精度和动态范围。 | ||
| 搜索关键词： | 照明模式 调制单元 偏振光 光学检测装置 入射 本实用新型 偏振合束器 偏振光路 照明装置 两路 偏振分束器 光源能量 角度分布 照明光路 光源 | ||
【主权项】：
1.一种照明装置，其特征在于，包括：光源、偏振分束器、偏振合束器、第一照明模式调制单元、第二照明模式调制单元及第三照明模式调制单元，所述光源发出的光束经过所述偏振分束器后分离成两路偏振光并分别进入第一偏振光路及第二偏振光路，第一路偏振光沿着所述第一偏振光路经过所述第一照明模式调制单元后入射至所述偏振合束器，第二路偏振光沿着所述第二偏振光路经过所述第二照明模式调制单元后入射至所述偏振合束器，所述偏振合束器将所述第一偏振光路及所述第二偏振光路合为一条光路以入射至所述第三照明模式调制单元中，其中，所述第一照明模式调制单元、所述第二照明模式调制单元及所述第三照明模式调制单元均通过旋转以切换照明模式。
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