[实用新型]一种新型薄膜测厚仪测头有效

专利信息
申请号: 201822148442.7 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN209495649U 公开(公告)日: 2019-10-15
发明(设计)人: 王亚彬;张国仁 申请(专利权)人: 山东德瑞克仪器有限公司
主分类号: G01B7/06 分类号: G01B7/06
代理公司: 济南瑞宸知识产权代理有限公司 37268 代理人: 徐健
地址: 250000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及测量技术领域,具体是一种新型薄膜测厚仪测头。一种新型薄膜测厚仪测头,包括壳体、驱动机构、测量机构、支架,所述驱动机构设置于所述壳体内部,所述驱动机构包括步进电机、凸轮机构,所述测量机构包括下测砧、电感测头,所述步进电机连接所述凸轮机构,所述凸轮机构包括凸轮、移动支架、滑竿,所述凸轮通过偏心轴设置于所述支架上,所述滑竿数量为两根,所述滑竿竖直设置,所述滑竿上方设有滑竿固定板连接,所述滑竿通过滑竿套与所述移动支架滑动连接,所述移动支架底部通过滑筒法兰固定连接有滑筒,所述滑筒贯穿所述壳体底部,所述滑筒下方设有电感测头。本实用新型可调节测量时的压强及平行度,实现准确测量。
搜索关键词: 滑竿 滑筒 驱动机构 凸轮机构 新型薄膜 移动支架 测厚仪 测头 本实用新型 步进电机 测量机构 电感测头 壳体 支架 测量技术领域 压强 固定板连接 法兰固定 滑动连接 壳体内部 竖直设置 准确测量 可调节 偏心轴 平行度 测砧 测量 贯穿
【主权项】:
1.一种新型薄膜测厚仪测头,其特征在于,包括壳体、驱动机构、测量机构、支架,所述驱动机构设置于所述壳体内部,所述驱动机构包括步进电机、凸轮机构,所述测量机构包括下测砧、电感测头,所述步进电机连接所述凸轮机构,所述凸轮机构包括凸轮、移动支架、滑竿,所述凸轮通过偏心轴设置于所述支架上,所述滑竿数量为两根,所述滑竿竖直设置,所述滑竿上方设有滑竿固定板连接,所述滑竿通过滑竿套与所述移动支架滑动连接,所述移动支架底部通过滑筒法兰固定连接有滑筒,所述滑筒贯穿所述壳体底部,所述滑筒下方设有电感测头,所述下测砧设置于所述电感测头下方。
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