[实用新型]蒸发源装置和共蒸发设备有效
| 申请号： | 201822150426.1 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN209798078U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 王岚 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸发源装置和共蒸发设备，其中蒸发源装置包括：加热装置，所述加热装置用于加热源材料，使所述源材料形成蒸气；蒸气分配装置，所述蒸气分配装置的一端与所述加热装置连通，所述蒸气分配装置上间隔开设有至少两个朝向所述基板的蒸气喷孔，所述蒸气经由所述蒸气喷孔喷射出。这样，蒸气即可沿着蒸气分配装置，经由蒸气喷孔喷射出来。将待沉积的基板固定朝向蒸气喷孔，源材料蒸气即可均匀沉积到基板上，进而提高基板上源材料沉积的均匀性。此外，由于多个蒸气喷孔直接朝向基板喷射源材料蒸气，相对在整个腔室内形成源材料蒸气的沉积方案，减少了源材料浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸气喷孔 蒸气分配装置 源材料 基板 加热装置 蒸发源装置 沉积 喷射 本实用新型 材料沉积 材料蒸气 基板固定 间隔开设 均匀沉积 共蒸发 加热源 均匀性 喷射源 连通 室内 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置包括：/n加热装置，所述加热装置用于加热源材料，使所述源材料形成蒸气；/n蒸气分配装置，所述蒸气分配装置与所述加热装置连通，所述蒸气分配装置上间隔开设有至少两个蒸气喷孔，所述蒸气经由所述蒸气喷孔喷射出。/n
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