[实用新型]一种防止有机物污染产线的监测装置及半导体生产设备有效
| 申请号： | 201822151845.7 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209591985U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 柳建军;陈凡 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66;G01N21/3563 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防止有机物污染产线的监测装置及半导体生产设备，包括信号发生器、信号检测器，所述信号发生器设置于待检测物上方，所述信号检测器设置于对应所述信号发生器的位置。本实用新型的有益效果：监测生产线上的有机物并及时控制生产线运行，从而防止有机物污染生产线，降低产品报废和节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 信号发生器 有机物污染 半导体生产设备 本实用新型 信号检测器 监测装置 产线 节约生产成本 产品报废 待检测物 有机物 监测 | ||
【主权项】：
1.一种防止有机物污染产线的监测装置，其特征在于，包括一信号发生器、一信号检测器，所述信号发生器设置于一待检测物上方，所述信号检测器设置于对应所述信号发生器的位置；所述信号检测器与一控制器连接，所述控制器与一动作单元连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
