[实用新型]一种溅射靶材裁板夹具

摘要

本实用新型公开了一种溅射靶材裁板夹具，涉及夹具领域，包括工作台，工作台上安装有固定底座，固定底座上固定连接有固定承接块，固定底座上滑动连接有活动承接块，固定底座上设置有调节组件，调节组件用于调节固定承接块与活动承接块之间的距离，固定底座上可拆卸的固定连接有托举件；当溅射靶材安装在工作台上时，固定承接块与活动承接块抵接溅射靶材的两侧，托举件抵接溅射靶材靠近工作台的面。当工作人员对溅射靶材进行铣削时，固定承接块和活动承接块在调节组件的调节作用下抵紧溅射靶材的侧边，限定溅射靶材在水平方向上的位移，托举件抵紧溅射靶材朝向工作台的一面，使得溅射靶材在铣削过程中不易变形，降低溅射靶材铣削的废品率。

主权项

1.一种溅射靶材裁板夹具，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）上安装有3个以上的固定底座（4），所述固定底座（4）上固定连接有固定承接块（9），所述固定底座（4）上滑动连接有活动承接块（10），所述固定底座（4）上设置有调节组件，所述调节组件用于调节所述固定承接块（9）与所述活动承接块（10）之间的距离，所述固定底座（4）上可拆卸的固定连接有托举件；当溅射靶材（12）安装在所述工作台（1）上时，所述固定承接块（9）与所述活动承接块（10）抵接所述溅射靶材（12）的两侧，所述托举件抵接所述溅射靶材（12）靠近所述工作台（1）的面。