[实用新型]一种真空镀膜卧式炉内壁结构

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜卧式炉内壁结构，包括镀膜炉壁，镀膜炉壁包括桶基层、不锈钢隔热屏层和钼隔热屏层，不锈钢隔热屏层的外侧和内侧分别与桶基层无缝、钼隔热屏层无缝连接，桶基层内部设有水冷夹层和隔热夹层，钼隔热屏层内壁上均匀安装有若干半球凸块，且钼隔热屏内壁和半球凸块侧面均涂有陶瓷涂料层，半球凸块与小型工件接触面积极小，工件镀膜效率高，解决了靶及靶表面落料问题，大大提高产品合格率，多个不锈钢隔热屏、多个钼隔热屏和隔热夹层内的隔热物质叠加能起到很好地隔热作用，使散发到外界的热量降低到最小，极大地降低了热量损失，从而使热量更好地得以保存，节省了真空镀膜的电功率和成本。

主权项

1.一种真空镀膜卧式炉内壁结构，包括镀膜炉壁(1)，其特征在于：所述镀膜炉壁(1)包括桶基层(2)、不锈钢隔热屏层(3)和钼隔热屏层(4)，所述的不锈钢隔热屏层(3)的外侧与桶基层(2)无缝连接，且不锈钢隔热屏层(3)内侧与钼隔热屏层(4)无缝连接；所述桶基层(2)内部设有水冷夹层(21)和隔热夹层(22)，所述隔热夹层(22)位于水冷夹层(21)的外侧，所述钼隔热屏层(4)内壁上还均匀安装有若干半球凸块(5)，且钼隔热屏层(4)内壁和半球凸块(5)侧面均涂有陶瓷涂料层(6)。