[实用新型]蓝宝石晶棒精密数控加工多线切割用夹持装置有效
申请号: | 201822158432.1 | 申请日: | 2018-12-21 |
公开(公告)号: | CN209566368U | 公开(公告)日: | 2019-11-01 |
发明(设计)人: | 吴康;纳磊;肖寒 | 申请(专利权)人: | 云南蓝晶科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04 |
代理公司: | 昆明盛鼎宏图知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 53203 | 代理人: | 许竞雄 |
地址: | 653100*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蓝宝石晶棒精密数控加工多线切割用夹持装置,包括树脂板;所述树脂板的表面上铣磨有凹槽;所述凹槽连接树脂板的两端;所述凹槽内壁两侧为曲面且所述凹槽的槽底为平面;所述蓝宝石晶棒粘接于凹槽内;所述蓝宝石晶棒与凹槽内壁的粘接面积至少为蓝宝石晶棒表面积的1/3;本实用新型采取的技术方案解决了粘接晶棒切割加工在晶片切割即将完成时,所有晶片应力集中到夹具和蓝宝石晶棒的接触面上,因粘接面积过小容易造成晶片粘接不牢固引起切割完成后掉片和粘接不牢固晶片摇动造成Warp参数(翘曲度)的超标导致Warp不良的报废率上升的问题。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石晶棒 粘接 树脂板 晶片 精密数控加工 本实用新型 凹槽内壁 多线切割 夹持装置 夹具 凹槽连接 方案解决 晶棒切割 晶片切割 应力集中 报废率 翘曲度 完成时 掉片 铣磨 摇动 切割 超标 加工 | ||
【主权项】:
1.一种蓝宝石晶棒精密数控加工多线切割用夹持装置,其特征在于:包括树脂板(1);所述树脂板(1)的表面上铣磨有凹槽(2);所述凹槽(2)连接树脂板(1)的两端;所述凹槽(2)内壁两侧为曲面且所述凹槽(2)的槽底为平面;所述蓝宝石晶棒粘接于凹槽(2)内;所述蓝宝石晶棒与凹槽(2)内壁的粘接面积至少为蓝宝石晶棒表面积的1/3。
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