[实用新型]可移动并且可移除的处理配件

摘要

公开了可移动并且可移除的处理配件。本公开的各方面大体涉及用于调整边缘环位置并且用于移除或更换处理腔室的处理配件的一个或多个部件的方法和装置。处理配件包括边缘环、支撑环、滑环和其他自耗的或可降解的部件中的一个或多个。

主权项

1.一种用于基板支撑件的处理配件，其特征在于，所述处理配件包含：滑环，具有由内径和外径限定的主体，所述主体具有形成为穿过其中的一个或多个开口，其中所述一个或多个开口中的每一个具有与所述主体的中心开口的轴线平行的轴线；支撑环，具有其中径向向内的部分被抬升到径向向外的部分上方的阶梯状上表面，所述支撑环具有外径；以及边缘环，具有平坦上表面和平坦下表面，所述边缘环具有：小于所述支撑环的所述外径的内径；以及大于所述支撑环的所述外径的外径。