[实用新型]一种平衡磁场溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201822169154.X | 申请日： | 2018-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN209508395U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 申屠江民;祝宇;龚阳 | 申请（专利权）人： | 浙江莱宝科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321016 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基于平衡磁场的溅射镀膜装置，包括水平设置的阴极靶材，所述阴极靶材为长方形板状结构，阴极靶材上方50‑100mm的范围内设有基片，阴极靶材下方设置有磁钢，所述磁钢包括磁钢座与磁极。通过磁钢的磁极间的作用，在阴极靶材上表面形成拱形磁场。在所述磁极下方设置有导磁块，所述导磁块可以使得磁场耦合于靶面上，提高镀膜效率与靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极靶材 磁极 磁钢 溅射镀膜装置 平衡磁场 导磁块 长方形板状结构 本实用新型 磁场耦合 镀膜效率 水平设置 磁钢座 上表面 拱形 靶材 磁场 | ||
【主权项】：
1.一种平衡磁场溅射镀膜装置，包括：水平设置的阴极靶材(2)、磁钢(1)与基片(3)，所述阴极靶材(2)为长方形板状结构，所述基片(3)设在阴极靶材(2)上方50‑100mm的范围内，阴极靶材(2)下方设置有磁钢(1)，所述磁钢(1)包括磁钢座与磁极，所述磁钢(1)在阴极靶材(2)上表面形成拱形磁场；其特征在于，在所述磁极下方设置有导磁块(4)。
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