[实用新型]一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置

摘要

本实用新型公开了一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置，包括箱体，箱体的外表面转动连接有箱门，所述箱体内壁的左右两侧之间固定连接有固定板，所述固定板的内表面固定连接有芯片，且芯片设置有三个，所述芯片的顶部连通有分流管，所述分流管的底端连通有分流板，所述分流板的顶部连通有恒温箱，箱体内壁的上方固定连接有层板，所述层板的底部与恒温箱的顶部连通，本实用新型涉及凝固技术领域。该可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置，利用烘烤扇和分流管的配合使用，对芯片外表面覆盖，加上烘烤扇使液体内部受热均匀，避免出现结块，提高产品质量，很好的提高了凝固效率，并且造价不高，更加具有实用性。

主权项

1.一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置，包括箱体(1)，所述箱体(1)的外表面转动连接有箱门(2)，其特征在于：所述箱体(1)内壁的左右两侧之间固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)的内表面固定连接有芯片(4)，且芯片(4)设置有三个，所述芯片(4)的顶部连通有分流管(5)，所述分流管(5)的底端连通有分流板(6)，所述分流板(6)的顶部连通有恒温箱(7)，箱体(1)内壁的上方固定连接有层板(8)，所述层板(8)的底部与恒温箱(7)的顶部连通，所述恒温箱(7)的顶部固定连接有恒温管(9)，所述恒温管(9)的右侧与箱体(1)内壁的左侧之间连通有输液管(10)，所述箱体(1)内壁的右侧固定连接有烘烤扇(11)。