[实用新型]带有防护装置的反应腔

摘要

本实用新型公开了一种带有防护装置的反应腔，包括：腔体和设置在腔体内的载板、喷淋装置及辅助装置；载板用于承载晶片；喷淋装置位于载板的上方；辅助装置位于载板的下方；腔体内还设置有防护装置，防护装置用于将载板的上方区域和下方区域分隔；和/或用于改变腔体内气体通道中气流的流动方向，以使气流经过薄膜生长区之外的区域，并限制薄膜生长区的气体与薄膜生长区之外的气体的交换。利用本实用新型，反应后的气体、副产品及其微粒由腔体上的排气口排出，从而对生长区之外的零部件进行防护，提高了产品的质量，同时提高了腔体内零部件的寿命，缩短了腔体内零部件的维护周期和维护成本。