[实用新型]硅片校准装置

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供一种硅片校准装置，包括两个垂直于硅片的传输方向并排设置的推顶装置。两推顶装置均包括固定板、同步带传动机构、连接组件、步进电机以及校准推板，步进电机安装于固定板的一侧，同步带传动机构包括第一辊轴、第二辊轴以及绕于第一辊轴和第二辊轴之间的传动皮带，第一辊轴连接于步进电机的输出端，第二辊轴枢接于固定板且与步进电机安装于固定板同一侧，校准推板位于固定板的另一侧，连接组件的一端固定连接于传动皮带，连接组件的另一端穿过固定板连接于校准推板。由于由步进电机提供动力输出，使得校准推板的给进校准动作更加精准，也见减小校准过程中对硅片的损伤。

主权项

1.一种硅片校准装置，其特征在于：包括两个垂直于硅片的传输方向并排设置的推顶装置，两所述推顶装置均包括固定板、同步带传动机构、连接组件、步进电机以及校准推板，所述步进电机安装于所述固定板的一侧，所述同步带传动机构包括第一辊轴、第二辊轴以及绕于所述第一辊轴和所述第二辊轴之间的传动皮带，所述第一辊轴连接于所述步进电机的输出端，所述第二辊轴枢接于所述固定板且与所述步进电机安装于所述固定板同一侧，所述校准推板位于所述固定板的另一侧，所述连接组件的一端固定连接于所述传动皮带，所述连接组件的另一端穿过所述固定板连接于所述校准推板。