[实用新型]一种液态源的储存装置有效
| 申请号： | 201822177492.8 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN209922073U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 史丽萍;徐长坡;陈澄;李亚哲;陈凯;谢依烨;陈春江;梁效峰;杨玉聪;王浩 | 申请（专利权）人： | 天津环鑫科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B65D90/02 | 分类号： | B65D90/02;B65D88/54;B65D90/48 |
| 代理公司： | 12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种液态源的储存装置，包括不锈钢源罐和放置于源罐内部的石英罐，源罐的顶部设有上盖，上盖上有进液管和出口管，石英罐的底部设有两个加厚部，加厚部之间为凹槽，补液管分别穿过源罐和石英罐设于凹槽内。本实用新型的优点是：在不锈钢源罐中内置石英罐，防止液态源对铁氟龙涂层的腐蚀，保证了液态源的清洁；石英罐表面平滑且附件少易清洗，补液管设于石英罐底部，可以减少补充液对石英罐内的液态源压力和温度的变化，保证液态源的储存环境。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 液态源 源罐 加厚 补液管 上盖 不锈钢 本实用新型 储存装置 补充液 出口管 罐表面 进液管 铁氟龙 易清洗 平滑 内置 储存 穿过 腐蚀 保证 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种液态源的储存装置，其特征在于：包括源罐和放置于所述源罐中的石英罐，所述石英罐底部的两端设有两个加厚部，所述加厚部之间的凹槽上设有补液管，所述源罐设有上盖，所述上盖上设有进液管和出口管，所述出口管的底端延伸至所述凹槽。/n
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