[实用新型]一种硅烷分解尾气中氢气回收系统有效
| 申请号： | 201822177719.9 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN209378717U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 贺珍俊;李东升;董燕军;李辉;陈晓军;刘瑞霞;任小红 | 申请（专利权）人： | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;B01D53/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅烷分解尾气中氢气回收系统，其包括至少两个吸附柱；吸附柱的出口三通阀的一个端口与氢气压缩机的进气口连通，氢气压缩机的出气口与氢气储罐的进气口连通。优点：通过每个吸附柱之间进行吸附和脱附两种模式交替切换，利用氢气压缩机提供的压差动力，实现对硅烷分解尾气中氢气的连续回收，同时，对尾气中少量的硅烷气体排出到该系统的外部进一步处理；通过在线检测仪实时检测氢气中硅烷气体的含量，从而实时反馈于DCS控制系统，实现两种模式之间的自动切换控制，由此，对硅烷分解尾气中的氢气可以进行有效分离，同时实现对硅烷分解尾气吸附和脱附的自控操作，并有效保证所回收氢气的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 氢气 尾气 分解 氢气压缩机 吸附柱 进气口 氢气回收系统 硅烷气体 脱附 连通 自动切换控制 本实用新型 出口三通阀 在线检测仪 连续回收 模式交替 氢气储罐 实时反馈 实时检测 尾气吸附 有效分离 自控操作 出气口 排出 吸附 压差 回收 外部 保证 | ||
【主权项】：
1.一种硅烷分解尾气中氢气回收系统，其特征在于，其包括氢气压缩机、氢气储罐和至少两个吸附柱；尾气进气管通过尾气进气阀分别与各个所述吸附柱的进口三通阀的一个端口连通，各个所述吸附柱的所述进口三通阀的另一个端口均通过脱附管线与混合切断阀的进口连通；所述吸附柱的出口三通阀的一个端口通过吸附切断阀与所述氢气压缩机的进气口连通，所述氢气压缩机的出气口与所述氢气储罐的进气口连通，所述氢气储罐通过脱附切断阀分别与各所述出口三通阀的另一个端口连通。
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