[实用新型]MO源中央供应系统

摘要

本实用新型提供一种MO源中央供应系统，其包括：储液罐、中转罐、第一钢瓶、第二钢瓶、冷肼、真空泵、尾气液封罐；储液罐通过管路与下游的中转罐相连接，储液罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，中转罐通过管路与下游的第一钢瓶，中转罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，第一钢瓶通过管路与下游的第二钢瓶相连接，第二钢瓶同时与排空管路、特气管路、氮气管路和真空管路相连接，冷肼与真空管路相连接，且冷肼通过管路与下游的真空泵相连接，真空泵同时与设备排气管路相连接，尾气液封罐位于真空泵的下游。本实用新型的MO源中央供应系统通过实现了MO的集中供应，其有利于满足MOCVD进行外延生长时工艺需求。

主权项

1.一种MO源中央供应系统，其特征在于，所述MO源中央供应系统包括：储液罐、中转罐、第一钢瓶、第二钢瓶、冷肼、真空泵、尾气液封罐；所述储液罐通过管路与下游的中转罐相连接，所述储液罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，所述中转罐通过管路与下游的第一钢瓶，所述中转罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，所述第一钢瓶通过管路与下游的第二钢瓶相连接，所述第二钢瓶同时与排空管路、特气管路、氮气管路和真空管路相连接，所述冷肼与真空管路相连接，且所述冷肼通过管路与下游的真空泵相连接，所述真空泵同时与设备排气管路相连接，所述尾气液封罐位于所述真空泵的下游，所述尾气液封罐同时与进淋洗塔管路和排空管路相连接。