[实用新型]一种纳米镀膜装置有效
申请号: | 201822187781.6 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN209555355U | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 张建坡 | 申请(专利权)人: | 超微中程纳米科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 杨慧林 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种纳米镀膜装置,包括主体板,所述主体板的上表面从右到左依次固定连接有盛料箱、分子泵、真空泵和镀膜箱,盛料箱的底端设有放置槽,放置槽内设有电加热管,盛料箱设有滑动槽,滑动槽位于放置槽的上侧,滑动槽内滑动连接有填料板,填料板上设有加热孔,填料板的前侧固定连接有密封板,所述盛料箱上设有四个出料口,该纳米镀膜装置,通过低温泵对加热升华后的镀膜材料进行降温,避免在镀膜时镀膜材料温度过高发生膜层结构变化或者镀膜材料产生分解,影响镀膜质量,通过残料收集箱对产品镀膜时滴落的镀膜材料进行收集,避免镀膜材料四处滴落,影响工作人员后期的清理。 | ||
搜索关键词: | 镀膜材料 盛料箱 纳米镀膜 放置槽 滑动槽 填料板 镀膜 主体板 滴落 本实用新型 电加热管 滑动连接 加热升华 膜层结构 温度过高 出料口 低温泵 镀膜箱 分子泵 加热孔 密封板 上表面 收集箱 真空泵 残料 底端 分解 | ||
【主权项】:
1.一种纳米镀膜装置,包括主体板(1),其特征在于:所述主体板(1)的上表面从右到左依次固定连接有盛料箱(12)、分子泵(11)、真空泵(9)和镀膜箱(2),盛料箱(12)的底端设有放置槽,放置槽内设有电加热管(26),盛料箱(12)设有滑动槽,滑动槽位于放置槽的上侧,滑动槽内滑动连接有填料板(13),填料板(13)上设有加热孔,填料板(13)的前侧固定连接有密封板(14),所述盛料箱(12)上设有四个出料口,盛料箱(12)的出料口通过吸气管(16)与合流管(17)的进料口连接,合流管(17)的出料口通过第一连接管(18)与分子泵(11)的进料口连接,所述主体板(1)的上表面固定连接有低温泵(20),低温泵(20)位于真空泵(9)的后侧,低温泵(20)的进料口通过第二连接管(19)与分子泵(11)的出料口连接,真空泵(9)的进气口通过第四连接管(28)与镀膜箱(2)的出气口连接,所述镀膜箱(2)的上侧设有安置槽,安置槽内设有喷洒管(23),喷洒管(23)上设有等距出料口,喷洒管(23)的出料口与喷头(25)的进料口连接,所述喷洒管(23)的进料口通过分流管(22)与第三连接管(21)的出料口连接,第三连接管(21)的进料口与低温泵(20)的出料口连接,所述镀膜箱(2)内设有滑槽,滑槽内滑动连接有盛放板(3),盛放板(3)上设有排料口,镀膜箱(2)内设有残料收集箱(24),残料收集箱(24)的位置与盛放板(3)的位置相对应,所述镀膜箱(2)前端的上下两侧分别通过转动轴与上挡板(6)和下挡板(4),上挡板(6)的位置与下挡板(4)的位置相对应,所述主体板(1)的上表面固定连接有电源开关组(10),电源开关组(10)的输入端连接外部电源的输出端,电源开关组(10)的输出端电连接真空泵(9)、分子泵(11)、低温泵(20)和电加热管(26)的输入端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于超微中程纳米科技(苏州)有限公司,未经超微中程纳米科技(苏州)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201822187781.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备
- 下一篇:加热装置及蒸镀系统
- 同类专利
- 专利分类