[实用新型]硅片清洗装置有效

专利信息
申请号: 201822192482.1 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN209266366U 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 陈玉;陈龙 申请(专利权)人: 无锡尚德太阳能电力有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 曹祖良
地址: 214028 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及太阳能电池用硅片制绒清洗装置,具体涉及一种太阳电池基体硅片清洗装置。所述硅片清洗装置包括清洗槽,所述清洗槽包括浸泡槽和喷淋槽,所述浸泡槽和喷淋槽之间隔有隔液板;所述清洗槽中设有用于传送硅片的输送辊轮组,所述输送辊轮组依次穿过浸泡槽和喷淋槽,所述输送辊轮组包括上辊轮和下辊轮,所述输送辊轮组的上方和下方分别设有上喷头和下喷头。所述硅片清洗装置增加清洗时间,以充分洗净硅片表面残液。
搜索关键词: 硅片清洗装置 输送辊轮 浸泡槽 喷淋槽 清洗槽 本实用新型 太阳能电池 硅片表面 硅片制绒 清洗装置 隔液板 上辊轮 上喷头 下辊轮 下喷头 硅片 残液 洗净 清洗 传送 穿过
【主权项】:
1.一种硅片清洗装置,其特征在于,所述硅片清洗装置包括清洗槽(100),所述清洗槽(100)包括浸泡槽(110)和喷淋槽(120),所述浸泡槽(110)和喷淋槽(120)之间隔有隔液板(130);所述清洗槽(100)中设有用于传送硅片的输送辊轮组(200),所述输送辊轮组(200)依次穿过浸泡槽(110)和喷淋槽(120),所述输送辊轮组(200)包括上辊轮(210)和下辊轮(220),所述输送辊轮组(200)的上方和下方分别设有上喷头(310)和下喷头(320)。
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