[实用新型]一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具有效
申请号: | 201822193857.6 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN209578079U | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 吴本明;文宏福 | 申请(专利权)人: | 韶关市欧莱高新材料有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | B22D7/06 | 分类号: | B22D7/06;C23C14/35 |
代理公司: | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人: | 吴静芝 |
地址: | 512000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具。本实用新型所述的用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具,包括一底座和一无缝钢管,所述无缝钢管固定在所述底座上,所述无缝钢管的内壁设置一抛光层,在所述抛光层的上还设置一氮化硼涂料层。本实用新型的一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具,由左右开模改为无缝钢管,避免了铸锭时裂纹的产生,虽然在脱模时需要将无缝钢管铣开,无缝钢管是一次性的,但是与原来相比,因为避免了靶材裂纹,使得投入原料大大减少,还提高了成材率避免浪费原料,且生产周期大大减少,提高了效率。 | ||
搜索关键词: | 无缝钢管 磁控溅射靶材 生产铝 模具 本实用新型 抛光层 底座 生产周期 一氮化硼 左右开模 成材率 涂料层 一次性 靶材 内壁 脱模 铸锭 | ||
【主权项】:
1.一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具,其特征在于:包括一底座和一无缝钢管,所述无缝钢管固定在所述底座上,所述无缝钢管的内壁设置一抛光层,在所述抛光层的上还设置一氮化硼涂料层。
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