[实用新型]自动定位式上下设备有效
| 申请号： | 201822206087.4 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209478651U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 施政;施心星;李斌 | 申请（专利权）人： | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B24B41/06;B24B41/00 |
| 代理公司： | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289 | 代理人： | 高玉蓉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种自动定位式上下设备，包括有底座，底座上安装有晶圆夹取装置，晶圆夹取装置上连接有晶圆定位装置，晶圆夹取装置的一侧安装有料盒升降装置，晶圆定位装置上还连接有晶圆转移装置。由此，带有自动定位装置，能将运输中的晶圆准确定位放置到加工位和料盒中。整体构造简单，一体性好，无需占用较大的设备空间。能够与目前常规的晶圆加工设备匹配使用，泛用性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 夹取装置 自动定位式 晶圆定位 底座 晶圆加工设备 晶圆转移装置 自动定位装置 本实用新型 设备空间 升降装置 整体构造 准确定位 常规的 泛用性 加工位 一体性 和料 料盒 匹配 占用 运输 | ||
【主权项】：
1.自动定位式上下设备，包括有底座，其特征在于：所述底座上安装有晶圆夹取装置，所述晶圆夹取装置上连接有晶圆定位装置，所述晶圆夹取装置的一侧安装有料盒升降装置，所述晶圆定位装置上还连接有晶圆转移装置。
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