[实用新型]一种真空镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜设备，包括镀膜室、磁控溅射机、第一驱动单元、第二驱动单元、第一固定件、第二固定件和基材放置件，磁控溅射机设于镀膜室顶部中间位置；第一驱动单元和第二驱动的输出轴分别贯穿镀膜室上位于同一方向上的两个侧壁；第一固定件和第二固定件分别与第一驱动单元和第二驱动单元相连；基材放置件包括上盖、下盖和弹性板，上盖和下盖的四周分别设有第一外延边和第二外延边；上盖和下盖上均设有若干个通孔；弹性板设于上盖与下盖之间，包括两侧分别设有若干个弹片的板体，各弹片的位置分别与上盖或下盖上对应的通孔相适应。本实用新型通过驱动承载有基材的基材放置件转动，实现分别对位于弹片两侧的基材镀膜后，提高基材的喷涂均匀性。

主权项

1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：镀膜室，所述镀膜室为双层结构，包括外层和内层；磁控溅射机，所述磁控溅射机设于所述镀膜室内层顶部的中间位置；第一驱动单元和第二驱动单元；所述第一驱动单元和第二驱动单元相对设置，均位于镀膜室的外层和内层之间，二者的输出轴分别贯穿镀膜室内层上位于同一方向上的两个侧壁；第一固定件和第二固定件，所述第一固定件和第二固定件的一端分别与所述第一驱动单元和第二驱动单元的输出轴相连；基材放置件，所述基材放置件的两端分别与所述第一固定件和第二固定件的另一端相连，其包括上盖、下盖和弹性板，所述上盖和下盖的四周分别设有第一外延边和第二外延边，当二者盖合时，所述第一外延边与第二外延边贴合；所述上盖和下盖上均设有若干个通孔；所述弹性板设于所述上盖与下盖之间，其包括板体，所述板体的两侧均设有若干个翘起的弹片，各弹片的位置分别与上盖或下盖上对应的通孔相适应。